Смотреть больше слов в «Этимологическом словаре русского языка»
I. СУБТИЛЬНЫЙ, СЮБТИЛЬНЫЙ ая, ое. subtile adj., нем. subtile, пол. suptelny <лат. subtilis тонкий, нежный, искусный, хитрый, остроумный и др. СИЗ. 1... смотреть
Сюбтильный — тонкій, нѣжный, крошечный. Ср. Одинъ — высокій, мясистый; другой сюбтильный, съ лицомъ совершенно безстрастнымъ.Лѣсковъ. Соборяне. 2, 5. ... смотреть
"тонкий, нежный". Из франц. subtil от лат. subtilis "тонкий, чувствительный".